無塵室專用濾網的重要性
空氣濾網是無塵室耗材中最關鍵的品項之一,通過空氣濾網的過濾,才得以讓進入無塵室的空氣保持穩定的潔淨度。根據無塵室等級的不同,無塵室濾網也分為初效、中效、高效濾網三種等級。
通常無塵室過濾網會將三種等級的濾網及FFU 風機濾網機組加以搭配。初效、中效濾網的用途為攔截較大型的污染粒子,可和高等級的濾網搭配使用,延長其壽命。高效濾網可過濾極小的污染粒子,是維持無塵室空氣潔淨度的主要功臣。通常會將初、中效濾網放置於高效濾網前方,先行攔截較大的汙染微粒,層層過濾,讓高效濾網只要專注處理初中級濾網攔不住的汙染,減輕其負擔,增加使用期限,在經濟成本考量上也較符合效益。
無塵室在許多產業中都是不可或缺的,在無塵室中,空氣可以透過其中的無塵室濾網達到過濾效果,讓無塵室中的活動能處於不受汙染的環境,對於各行各業,尤其是精緻工業或實驗、醫療器材等製程,達到不可替代的效用,維持產品品質並降低可能造成的汙染。
無塵室分級
無塵室依據用途不同,對空氣的潔淨度要求也不一樣,為此制定出了無塵室的分級規範,搭配不同的無塵室濾網,確保空氣的潔淨度能夠達到個別用途的需求。
目前常見的國際標準為ISO 14644-1,分級標準為在一立方公尺中能允許多少空氣微粒和微生物,允許量越少,等級數字越小,無塵室對空氣的潔淨度要求越高。
ISO Class1:1m³中允許10個0.1 um的微粒。
ISO Class2:1m³中允許100個0.1 um的微粒。適用於半導體前端產業。
ISO Class3:1m³中允許1,000個0.1 um的微粒。適用於半導體前端產業。
ISO Class4:1m³中允許10,000個0.1 um的微粒。適用於半導體前端產業、晶片製造業、液晶製造業、光罩製造業。
ISO Class5:1m³中允許100,000個0.1 um的微粒。適用於半導體前端產業、晶片製造業、液晶製造業、光罩製造業、印刷電路板製造、藥品製造、手術室、食品加工。
ISO Class6:1m³中允許1,000,000個0.1 um的微粒。適用於半導體前端產業、晶片製造業、液晶製造業、光罩製造業、硬碟製造業、印刷電路板製造、食品製造。
ISO Class7:1m³中允許352,000個1 um的微粒。適用於晶片製造業、半導體後端產業、印刷電路板製造。
ISO Class8:1m³中允許3,520,000個1 um的微粒。適用於食品製造、印刷電路板製造。
ISO Class9:1m³中允許35,200,000個1 um的微粒。適用於食品製造、印刷電路板製造。
無塵室濾網分級
初效濾網
過濾效率: 30~35%/40-45%
過濾大小:3µm~10µm
常見種類:金屬過濾網、濾袋式過濾網、丟棄式過濾網、尼龍過濾網等等。
初效濾網在無塵室的用途通常是作為主要濾網前的第一道防線,能夠攔截空氣中比較大的粒子,減輕主要濾網的使用年限,初效濾網成本較低、更換方式簡便,可以頻繁更換,除了當作無塵室的第一道濾網外,也適用於其他需要經常更換濾網的情形。
中效濾網
過濾效率:60% – 85%
過濾大小:1µm~3µm
常見種類:防鹽害過濾網、濾袋式過濾網、丟棄式過濾網、金屬過濾網等等。
中效濾網可以過濾比初效濾網還小的粒子,處理對空氣潔淨度比初級濾網還高的情況,通常同樣會放置於高效濾網前,以延長其壽命。
高效濾網 (HEPA、ULPA)
過濾效率:95%~99.999%
過濾大小:0.12µm~1µm
常見種類:鋁隔板型濾網、拋棄型過濾網箱組、室內更換型濾網、V型濾網等等。
高效濾網更換頻率較低,價格較高昂,但能過濾極小的空氣微粒,且過濾效率高達99.99%,適用於對空氣潔淨度有高要求的無塵室中,是不可或缺的重要耗材。
無塵室濾網是無塵室運作的心臟,能提供無塵室符合其等級要求的潔淨空氣。不同的無塵室濾網有不一樣過濾效果和用途,在使用時並非一昧選擇較高等級的濾網才是好的,要考慮成本、人力、技術和濾網需達成的效果,尋找最適合的濾網,才能發揮最大的效益。
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